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半導體光刻機（TC100）

產品特點
適用范圍 ： ■ 半導體晶圓 ■ 先進封裝（RDL、WLP） ■ 陶瓷基板（激光熱沉、圍壩板、AMB、DBC） ■新能源汽車車規芯片

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產品參數

■半自動上下料、 自動對位、 自動曝光
■LED光源 ：能量可調 ，均勻性≥ 95%
■高精度 ：對位精度±1μm ，線寬線距1-15μm ，   上下重合度≤10μm ,   直角及線路垂直≥87°
■優  勢：一致性高、 無累積公差 ，適合高精度產品
■穩定的貼合結構 、 可自動較正平整度


可根據不同產品類別、 不同尺寸定制設備